Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜リコーが３軸加速度センサー量産へ プラスチック封止で低コスト化
日経マイクロデバイス 第252号 2006.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第252号（2006.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2599字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （103kb） |
| 雑誌掲載位置 | 82〜83ページ目 |
リコーがＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）による３軸加速度センサーを開発，この６月より販売を始めた。３軸品で主流となっている加速度検出方式「ピエゾ抵抗型」としては「初めて」（同社）プラスチック・パッケージを採用した注１）。現在，他社が量産している３軸品の大半は，ピエゾ抵抗型であり，このほとんどがセラミック・パッケージを採用している。セラミック・パッケージ…
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