Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 据え置き型並みの高分解能を実現〜据え置き型並みの高分解能を実現
日経マイクロデバイス 第249号 2006.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第249号（2006.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全525字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （315kb） |
| 雑誌掲載位置 | 102ページ目 |
可搬型でありながら据え置き型と同等の高分解能を達成した走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）。通常の据え置き型ＳＥＭは冷却水や専用の配電盤が必要であり，限られた部屋でしか利用できない。一方，可搬型ＳＥＭは冷却水が必要なく，交流１００Ｖで駆動できるので製造ラインの抜き取り検査などに使える。ただし，これまでの可搬型ＳＥＭは電磁光学系や防振機構を簡略化していたので，分解能は２０〜３０ｎｍと据え置き型に比べて低かっ…
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