Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜用途拡大中のＭＥＭＳデバイス その展望をＳＴ社が語る
日経マイクロデバイス 第247号 2006.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第247号（2006.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全568字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （240kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
米国ワシントンＤ．Ｃ．で１２月５〜７日に開催した「２００５ ＩＥＥＥ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｍｅｅｔｉｎｇ（２００５ ＩＥＤＭ）」の初日の基調講演では，伊仏ＳＴＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ 社ＦＴＭ／ＭＥＭＳ Ｂｕｓｉｎｅｓｓ ＵｎｉｔのＢｅｎｅｄｅｔｔｏ Ｖｉｇｎａ氏がＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイ…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全568字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜３軸加速度センサーの ウエーハ・レベル・テスター相次ぐ
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜デスクトップ型の ナノインプリント・システム
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「５６μｍ／分のエッチング速度」の装置 貫通電極チップに威力を発揮
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜厚膜レジストを塗布したＳｉウエーハ １万８０００円で販売
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「厚い光学部品も作れます」 常温接合装置の応用
