Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜厚膜レジストを塗布したＳｉウエーハ １万８０００円で販売
日経マイクロデバイス 第247号 2006.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第247号（2006.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全351字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （240kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
レジスト・メーカーの化薬マイクロケムは，同社が開発したＭＥＭＳデバイス向け厚膜レジスト「ＳＵ−８ ３０００−ＮＯ２」をあらかじめ塗布したＳｉウエーハを発売した。同社は，このウェーハと，同製品を使って加工したデバイスを「第１６回マイクロマシン展」に展示した。ＭＥＭＳの製造プロセスでは，レジストを段差のある構造体に塗布してエッチング・マスクとして使うことがあるので，高い粘性のレジストを使い，専用の塗…
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