Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜デスクトップ型の　ナノインプリント・システム
日経マイクロデバイス　第247号　2006.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第247号（2006.1.1）
ページ数	1ページ　（全285字）
形式	PDFファイル形式　（240kb）
雑誌掲載位置	109ページ目

　丸紅ソリューションは，デスクトップ型のナノインプリント・システムを「第１６回マイクロマシン展」に出展した。ナノインプリント技術を使った研究開発を手軽に進めたいというニーズに応えた。熱ナノインプリント加工に使え，セラミック・ヒーターで加熱して圧力を加える。加工できるのは，３０ｍｍ角の面積である。今回のシステムは，産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門の研究成果を基に，ベンチャ企業のナノクラフト…