Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「厚い光学部品も作れます」 常温接合装置の応用
日経マイクロデバイス 第247号 2006.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第247号（2006.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全332字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （240kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
アユミ工業は，同社が発売中の常温接合装置の応用例を「第１６回マイクロマシン展」で紹介した。その中で，ガラス板を接合しても透過率や屈折率などの光学的特性が大きく変化しなかったことを紹介した。同社の常温接合装置は，１０−１０Ｔｏｒｒ台の真空チャンバ内で，材料表面を活性化した状態で張り合わせるものである。Ｓｉウエーハの接合に使えることから，ＭＥＭＳデバイスなどのウエーハ・レベル・パッケージの手法として…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全332字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「５６μｍ／分のエッチング速度」の装置 貫通電極チップに威力を発揮
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜厚膜レジストを塗布したＳｉウエーハ １万８０００円で販売
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜ルネサス テクノロジが マイコンの事業展開を語る ＭＲＡＭ内蔵品を２００８年に発売へ
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜ＡｌｔｅｒａやめてＸｉｌｉｎｘへ パルテックの販売代理店契約 業績への影響は？
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜東芝の米国半導体会社 ＳｏＣ設計を効率化 Ｍａｇｍａの「仮想試作」ツールで
