Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜３軸加速度センサーの　ウエーハ・レベル・テスター相次ぐ
日経マイクロデバイス　第247号　2006.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第247号（2006.1.1）
ページ数	1ページ　（全410字）
形式	PDFファイル形式　（240kb）
雑誌掲載位置	108ページ目

　東京エレクトロンは，３軸加速度センサーの良否や特性をウエーハ段階で試験できるテスターを２００６年３月に発売する。「第１６回マイクロマシン展」にパネル展示した。マイクロマシン展には，丸紅ソリューションも２００５年の夏から発売している同種のテスターを展示している。東京エレクトロンと丸紅ソリューションのテスターは，いずれもセンサー部をダイシングして個片化する前の段階で良否チェックできるようにしている。…