Cover Story Part2 インタビュー集〜●米Novellus Systems
日経マイクロデバイス 第246号 2005.12.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第246号(2005.12.1) |
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ページ数 | 1ページ (全892字) |
形式 | PDFファイル形式 (726kb) |
雑誌掲載位置 | 129ページ目 |
Mark G. Fissel 氏Vice President, Corporate Marketing 2005年は,これまで強みにしてきた「装置の生産性の高さ」に加えて,「装置に導入する革新技術」を新たな強みにすることができた。この革新技術に関しては,以下のような成果があった。第1に,90nmノード(hp130)以降に向け,Ta用CVD技術「PNL(Pulsed Nucleation Layer…
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