Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　Ｐａｒｔ２　インタビュー集〜●大日本スクリーン製造　４５ｎｍ対応のアニールが好調　塗布・現像は液浸向けで挽回
日経マイクロデバイス　第246号　2005.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第246号（2005.12.1）
ページ数	1ページ　（全792字）
形式	PDFファイル形式　（726kb）
雑誌掲載位置	128ページ目

末武　隆成　氏取締役副会長　半導体機器カンパニー　カンパニー社長　当初，２００５年度の収益を厳しく予想していたが，最近になって受注が活発になってきた。通年では期初予想を上回る収益を確保できそうである。　製品別では，主力の洗浄装置が好調だった。枚葉式は研究開発向けを中心に売上高が対前年度比１．５倍に伸びた。量産向けのバッチ式も微増した。これにより，どちらの方式も４０％以上のシェアを確保できた。４５ｎ…