Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ２ インタビュー集〜●日立ハイテクノロジーズ 暗視野検査とプローバが飛躍 ＡＳＭＬの液浸露光も実績
日経マイクロデバイス 第246号 2005.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第246号（2005.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全807字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （726kb） |
| 雑誌掲載位置 | 128ページ目 |
中野 和助 氏執行役常務 半導体製造装置営業統括本部 統括本部長 ２００５年度は，ＬＳＩメーカーやＳｉファウンドリの設備投資の先送りにより，当初は装置出荷が伸びなかった。それが夏場以降回復しつつある。２００５年度下期にはさらに延びてくると予想している。２００５年度通期では，対前年度比２０％の増益を期待できそうである。 ２００５年度は，主力分野である検査・解析装置で大きな成果が二つあった。 第１に，…
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