Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 材料の利用効率を４倍に向上〜有機ＥＬパネル向け真空蒸着装置
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号（2005.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全580字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （304kb） |
| 雑誌掲載位置 | 107ページ目 |
材料の利用効率を従来の４倍の２０％に引き上げた有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）パネル向け真空蒸着装置（図３）。従来の装置では，１個のるつぼから有機材料を放出し，基板に成膜していた。この場合，均一に成膜するために，蒸発源と基板の距離を十分に離す必要がある。その結果，基板上に成膜されずチャンバに付着してしまう材料が多く，利用効率が低かった。そこで今回の装置では多数のノズルを持つ面状…
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