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Tutorial 囲み DFM最前線:原子のバラつきには,ナノ物理〜精度と処理時間が異なる 3種のデバイス・シミュレータを開発
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号(2005.10.1) |
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ページ数 | 1ページ (全862字) |
形式 | PDFファイル形式 (520kb) |
雑誌掲載位置 | 103ページ目 |
本論文の著者のAsen Asenov氏は,英国スコットランドの「University of Glasgow」の教授である。同大の「Device Modeling Group」の責任者でもある。同氏は,デバイス・シミュレータの権威として知られている。その実行結果のいくつかが,この論文の図にも使われた。 デバイス・シミュレータは,プロセス・シミュレータと回路シミュレータの間をつなぐ。プロセス・シミュ…
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