Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　第３部　トレンド　製造＆設計イノベーション　第３部　要素・技術〜トレンド●大容量化　セルをなくして微細化限界から開放　メモリー・カードでＴバイト級実現
日経マイクロデバイス　第242号　2005.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第242号（2005.8.1）
ページ数	2ページ　（全2449字）
形式	PDFファイル形式　（279kb）
雑誌掲載位置	50〜51ページ目

尾上　篤パイオニア　総合研究所　２０１０〜２０２０年の「大容量化」におけるイノベーションは，メモリー・セルをなくした新技術の導入である。ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）を駆使した「ＨＤＤ型半導体メモリー」を使って，露光技術の性能に記録密度が制限されないようにする。　既存のＤＲＡＭやフラッシュ・メモリーは５０ｎｍ世代以降でも実用になると見られるが，露光性能…