Ｓｐｅｃｉａｌ　Ｆｅａｔｕｒｅ　プレーナＣＭＯＳを極限まで延命，次は立体トランジスタ〜プレーナＣＭＯＳを極限まで延命　次は立体トランジスタで勝負
日経マイクロデバイス　第242号　2005.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第242号（2005.8.1）
ページ数	10ページ　（全14954字）
形式	PDFファイル形式　（589kb）
雑誌掲載位置	31〜40ページ目

プレーナ（平面）構造のＣＭＯＳデバイスはどこまで延命できるのか。この長年の命題に対し，次のような指摘が増えてきた。「３２ｎｍノード（ｈｐ４５）まではプレーナを延命できるが，次の２２ｎｍノード（ｈｐ３２）からは非プレーナ（立体）構造が必須になる」。現在，ＬＳＩ各社はプレーナＣＭＯＳを極限まで延命するために力を振り絞っているが，一部では非プレーナへの準備を着々と進めている。プレーナから非プレーナへの移…