Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　解像度０．０７ｎｍを達成〜解像度０．０７ｎｍを達成
日経マイクロデバイス　第240号　2005.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第240号（2005.6.1）
ページ数	1ページ　（全615字）
形式	PDFファイル形式　（109kb）
雑誌掲載位置	109ページ目

　解像度０．０７ｎｍを達成できる透過型電子顕微鏡（図３）。市販の透過型電子顕微鏡で解像度０．１ｎｍを切る装置はこれまでほとんどなかった。今回は電磁レンズを設計し直すことによって，ＴＥＭ（ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）として利用した場合に０．０７ｎｍ，ＳＴＥＭ（ｓｃａｎｎｉｎｇ　ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）の場合に０．１ｎｍの…