Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　小型化と低消費電力を同時に実現〜小型化と低消費電力化を同時に実現
日経マイクロデバイス　第240号　2005.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第240号（2005.6.1）
ページ数	1ページ　（全593字）
形式	PDFファイル形式　（109kb）
雑誌掲載位置	108ページ目

　小型化と低消費電力化を同時に可能にした液晶ガラス基板の乾燥装置（図２）。水含有量が０．５ｐｐｍと少ない乾燥空気をノズルから吹きつけ，ガラス表面の水を気化させる方式を採用した。長辺が２ｍを超える第７〜８世代のガラス基板に対応できる。高温で加熱してガラス基板表面の水を気化させる従来方式に比べて，装置の奥行きを１ｍと約１／１５，動作時の消費電力を１ｋＷ程度と数分の一に削減できる。装置を小型化できるのは…