Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 検査とリペアの一体化で歩留まり向上〜検査とリペアの一体化で歩留まり向上
日経マイクロデバイス 第236号 2005.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第236号（2005.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全565字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （136kb） |
| 雑誌掲載位置 | 113ページ目 |
リペア装置と検査装置を一体化することによって，液晶パネルの歩留まりを改善する装置（図３）。今回の装置は液晶パネルのＴＦＴアレイ工程向けであり，ガラス基板上に形成された配線の不良を検査，リペアすることができる。従来は，リペア装置と検査装置が別々だったため，リペア後の検査までに時間がかかっていた。このため，リペア処理に不具合があった場合に，そのままリペア処理を続けてしまうという問題があった。今回の装…
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