Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　最大３０％の省エネ効果〜最大３０％の省エネ効果
日経マイクロデバイス　第236号　2005.2.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第236号（2005.2.1）
ページ数	1ページ　（全564字）
形式	PDFファイル形式　（136kb）
雑誌掲載位置	112ページ目

　最大３０％の省エネ効果が期待できるクライオ・ポンプ（図２）。クライオ・ポンプとは，真空中に極低温面を設置し，これに衝突する気体分子を凝縮または吸着で排気するポンプ。極低温面の温度を維持するように冷凍機モーターの回転速度をリアルタイムで制御するため，回転速度が一定の従来型に比べてモーターの消費電力を削減できる。　すでに，スパッタ装置などに向けた内径２００ｍｍの小型ポンプでは，同様のリアルタイム制御…