Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　段差部分にレジストを均一塗布〜段差部分にレジストを均一塗布
日経マイクロデバイス　第235号　2005.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第235号（2005.1.1）
ページ数	1ページ　（全620字）
形式	PDFファイル形式　（131kb）
雑誌掲載位置	115ページ目

　ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスの製造に適したスプレー式のフォト・レジスト塗布装置（図３）。ＭＥＭＳデバイスの製造工程で使われることの多い数μｍ〜数百μｍの段差のある基板に対して均一に塗布できる。　これまで段差のある基板への塗布には，半導体向けの回転式塗布装置が使われることが多く，スプレー式の利用は限られていた。回転式では，段差の角の部分のレジ…