Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　従来比６倍のテスト速度を実現〜従来比６倍のテスト速度を実現
日経マイクロデバイス　第235号　2005.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第235号（2005.1.1）
ページ数	1ページ　（全536字）
形式	PDFファイル形式　（131kb）
雑誌掲載位置	116ページ目

　従来に比べてテスト速度を６倍に上げたＣＭＯＳセンサー・テスト装置（図６）。ＣＭＯＳセンサーの点欠陥，線欠陥，むらなどを自動検出する。ＣＭＯＳセンサーは，携帯電話機や自動車などへの搭載に向けて多画素化が進み，各画素の欠陥を検出するテスト速度の向上が課題となっていた。横河電機は従来，ＣＣＤセンサー向けとＣＭＯＳセンサー向けを兼用するテスト装置を製品化していたが，今回の装置はＣＭＯＳセンサー向けに特化…