Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　電気特性もチェックする〜電気特性もチェックする
日経マイクロデバイス　第235号　2005.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第235号（2005.1.1）
ページ数	1ページ　（全675字）
形式	PDFファイル形式　（131kb）
雑誌掲載位置	115ページ目

　ＬＳＩマクロセルのＤＦＭ（ｄｅｓｉｇｎ　ｆｏｒ　ｍａｎｕｆａｃｔｕｒａｂｉｌｉｔｙ）補正に向けたＥＤＡツール（図４）。これまでのＤＦＭ補正ツールは，対象のマクロセルのマスク・レイアウトを処理するだけの製品が多かった。この製品は，ＤＦＭ化したマスク・レイアウトの電気特性をチェックするところまでカバーする。入力は，対象のマクロセルの回路図とマスク・レイアウト，そしてプロセス・パラメータである。まず，…