Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ セミコンジャパン特集〜作業時間を１／５に短縮
日経マイクロデバイス 第234号 2004.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第234号（2004.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全596字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （217kb） |
| 雑誌掲載位置 | 122ページ目 |
作業時間を従来比で１／５に短縮できるデバイス特性評価装置（図２）。例えば，従来１日１サンプルしか測定できなかった作業を，１日５サンプルまで測定できるようにした。ここで，デバイス特性評価装置とは，微小なプローブをトランジスタ電極などに接触させて電気特性を測定し，故障個所を特定する装置を指す。作業時間を短縮するために，今回は二つの対策を施した。第１に，従来はＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で画像を確認でき…
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