New Products〜インクジェット装置「NanoPrinter 2000」
日経マイクロデバイス 第233号 2004.11.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第233号(2004.11.1) |
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ページ数 | 1ページ (全585字) |
形式 | PDFファイル形式 (349kb) |
雑誌掲載位置 | 105ページ目 |
任意の形状パターンをインクジェット法による吐出で基板上に形成する研究開発向け装置(図3)。開発元のマイクロジェットの従来装置では,座標を指定して点や線,四角などを形成するにとどまっていた。今回の製品は,CADデータやビット・マップ・データを使って複雑な形状の配線パターンの描画に対応できる。ここへ来てインクジェット法は,プリンタ用途のほかに,リソグラフィ法に代わる低コストのパターン形成技術として期…
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