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New Products〜半導体パラメータ測定器「Agilent 4157B」
日経マイクロデバイス 第233号 2004.11.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第233号(2004.11.1) |
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ページ数 | 1ページ (全717字) |
形式 | PDFファイル形式 (349kb) |
雑誌掲載位置 | 104ページ目 |
測定可能な電流が最小100aA(aは10−18)の半導体パラメータ測定器(図1)。開発元の米Agilent Technologies Inc.が販売している従来品の最低1fAに比べて一ケタ小さい。トランジスタのゲート・リーク電流を抑えるための研究開発や,トランジスタのデバイス特性のモデル化などの用途に活用できる。微小電流を測定できるようになったのは,新規開発の「アトセンス・スイッチ・ユニット」と…
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