Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜巻き取り式蒸着装置「ＥＷＥ−０６０」
日経マイクロデバイス 第233号 2004.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第233号（2004.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全592字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （349kb） |
| 雑誌掲載位置 | 106ページ目 |
スループットを従来比２倍に高めたフィルム・コンデンサ向け巻き取り式蒸着装置（図６）。一般に，フィルム・コンデンサ向け蒸着装置は，薄いプラスチック・フィルムを高速で巻き取りながらフィルム上にＡｌやＺｎなどの金属を連続的に蒸着していく。金属蒸気はフィルム上で固体に変化する際に熱を放出するので，フィルムは冷却ローラーで常に冷やされている。スループットを向上するためには，単位時間当たりにフィルムに到達す…
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