New Products〜透過型電子顕微鏡「JEM−2100」
日経マイクロデバイス 第233号 2004.11.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第233号(2004.11.1) |
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ページ数 | 1ページ (全541字) |
形式 | PDFファイル形式 (349kb) |
雑誌掲載位置 | 104ページ目 |
試料の画像や分析結果などの情報を一台のパソコン(PC)で集中管理することを可能にした透過型電子顕微鏡(図2)。試料の画像や元素分析の結果など複数のデータをデジタル化し,一括してソフトウェア処理することができる。PCをネットワークに接続すれば,他の端末から遠隔操作が可能である。試料中の元素分析に使うEDS(エネルギー分散型蛍光X線分光装置)やEELS(電子線エネルギー・ロス分光装置)を組み込んだ場…
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