Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜クリーン・ベンチ「ＳＳ−クリーンベンチ」
日経マイクロデバイス　第233号　2004.11.1

　搬入据え付け費用を含む価格を，従来製品に比べ１／３に引き下げたクリーン・ベンチ（図５）。クリーン・ベンチは局所的な清浄空間が得られる作業台であり，フラットパネル・ディスプレイ（ＦＰＤ）や半導体などの製造に使われる。今回の製品はＦＰＤ工場向けで，ユーザーが組み立てられる構造にしてコストを低減した。従来は鉄板で構成していたため重量物扱いになっていた。また，性能検査後に分解し納入先の工場で再び組み立て…