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WEB Access Ranking[Logic]〜「2004 IITC」で注目集める 90nm配線技術の実力
日経マイクロデバイス 第230号 2004.8.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第230号(2004.8.1) |
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ページ数 | 1ページ (全283字) |
形式 | PDFファイル形式 (91kb) |
雑誌掲載位置 | 101ページ目 |
「2004 IEEE International Interconnect Technology Conference(2004 IITC)」のセッション「PROCESS INTEGRATION」では,量産時期に入り信頼性を保証できるものとなった90nm(hp130)向け配線技術が目を引いた。米Intel Corp.の90nm,300mmロジック・プロセスは,220nmピッチのメタル配線での量産…
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