WEB Access Ranking[Logic]〜富士通,90nm技術で製造したプロセサを UNIXサーバーに搭載
日経マイクロデバイス 第230号 2004.8.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第230号(2004.8.1) |
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ページ数 | 2ページ (全295字) |
形式 | PDFファイル形式 (91kb) |
雑誌掲載位置 | 100〜101ページ目 |
富士通は,同社あきる野テクノロジセンターの90nm(hp130)ラインで製造したマイクロプロセサ「SPARC64 V」を,同社のUNIXサーバー「PRIMEPOWER」に搭載したことを明らかにした。SPARC64 Vは,90nmノード(hp130)のCu配線とSiOC層間絶縁膜を使って製造した。SiOC膜の実効比誘電率は約3である。ゲート長は40nm,チップ面積は16mm×18mm,トランジスタ…
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