ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｌｏｇｉｃ］〜注目集めるＳｉ微結晶メモリーと 単電子トランジスタ
日経マイクロデバイス 第230号 2004.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第230号（2004.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全404字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （91kb） |
| 雑誌掲載位置 | 100ページ目 |
「２００４ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎ ＶＬＳＩ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ」のサテライト・ワークショップ「２００４ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｗｏｒｋｓｈｏｐ」では，Ｓｉ微結晶メモリーや単電子トランジスタなど，Ｓｉナノ構造中の物理現象を積極的に利用した新デバイスの発表が行われた。発表件数が最も多かったのは，Ｓｉドットを浮遊ゲートとして利用するＳｉ微結晶メモリーである。伊仏ＳＴＭｉ…
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