Ｉｎｓｉｄｅ　Ｌｏｇｉｃ　囲み〜微細化の追求に迷いなし　前提は「作る製品があること」
日経マイクロデバイス　第229号　2004.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第229号（2004.7.1）
ページ数	1ページ　（全1563字）
形式	PDFファイル形式　（274kb）
雑誌掲載位置	63ページ目

各務　正一　氏東芝セミコンダクター社ＳｏＣ技師長　世界に先駆けて４５ｎｍ（ｈｐ６５）技術を開発した東芝は，今後も１．５年／世代のペースで微細化を追求し続けることに迷いはない。最先端技術を生かすＬＳＩ製品が具体的に存在するためである。微細化の限界が叫ばれる中，数々の技術課題にどう立ち向かっていくのか。同社のプロセス・デバイス開発の責任者である各務正一氏に聞いた。−今回の「２００４　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ…