Ｉｎｓｉｄｅ Ｍｅｍｏｒｙ〜電子顕微鏡もモバイルの時代へ ＭＥＭＳで親指大の光学系を実現
日経マイクロデバイス 第229号 2004.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第229号（2004.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 8ページ （全9675字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （186kb） |
| 雑誌掲載位置 | 71〜78ページ目 |
奥村 勝弥，三好 元介東京大学 先端科学技術研究センター西條 豊堀場製作所 開発センター天野 繁アルバック 超高真空事業部持ち運び可能な超小型の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）が実現した。ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を駆使し，ＳＥＭを構成するレンズ系や真空ポンプを小型化した。電子顕微鏡は大型，高価で移動不可能という固定概念を打ち壊し，その応用分野を広げ…
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