Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　Ｐａｒｔ１　次のＬＳＩの競争力〜ＬＳＩ製造力　“作る”から“見る”へ
日経マイクロデバイス　第229号　2004.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第229号（2004.7.1）
ページ数	4ページ　（全4517字）
形式	PDFファイル形式　（103kb）
雑誌掲載位置	28〜31ページ目

検査・解析技術が，ＬＳＩの“製造力”を左右するようになった。１９７０年代以降２０００年ころまで，ＬＳＩ製造力はプロセス技術そのものと言えた。ここへ来て，製造装置によって汎用的になりつつあるプロセス技術に変わって，ノウハウの塊とも言える検査・解析技術が脚光を浴び始めている。事業の収益を大きく支配するようになったからである。多層配線の内部には，Ｃｕやｌｏｗ−ｋ（低誘電率）絶縁膜など新材料に起因する欠陥…