Ｉｎｓｉｄｅ Ｌｏｇｉｃ 囲み〜２５年前に発明されたＳＩＭＯＸ法 米ＩＢＭによって花開く
日経マイクロデバイス 第224号 2004.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第224号（2004.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全752字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （369kb） |
| 雑誌掲載位置 | 62ページ目 |
１９７８年にＮＴＴ研究所において発明されたＳＩＭＯＸは米ＩＢＭ Ｃｏｒｐ．によって花開いた。 ＳＩＭＯＸ法誕生当時は，イオン打ち込み装置のビーム量では時間がかかり，ＮＴＴ研究所の“遊び”に過ぎなかった。１９８８年に完全空乏型ＦＥＴなど各種ＣＭＯＳデバイスが試作され，さらに課題だったイオン打ち込み時間の短縮，Ｓｉ結晶品質の改善が続けられた。 １９８６年にイオン打ち込み装置を，ＮＴＴと米Ｅａｔｏｎ …
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Ｉｎｓｉｄｅ Ｌｏｇｉｃ〜ＳＯＩが最先端ＬＳＩに急拡大 張り合わせ法が主流に
Ｉｎｓｉｄｅ Ｌｏｇｉｃ〜ＩＢＭ● ＳＯＩが製品・技術で適用範囲を拡大
Ｉｎｓｉｄｅ Ｌｏｇｉｃ〜沖電気● 完全空乏型でＬＳＩの低電力化を追求
Ｉｎｓｉｄｅ Ｌｏｇｉｃ〜ＳＯＩＴＥＣ● 張り合わせ法でひずみＳｉと組み合わせ
Ｉｎｓｉｄｅ Ｌｏｇｉｃ〜ワッカー● 極薄ＳＯＩを狙ったＳＩＭＯＸ技術を確立
