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Inside Logic〜IBM● SOIが製品・技術で適用範囲を拡大
日経マイクロデバイス 第224号 2004.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第224号(2004.2.1) |
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ページ数 | 3ページ (全3623字) |
形式 | PDFファイル形式 (369kb) |
雑誌掲載位置 | 60〜62ページ目 |
Ghavam G. Shahidi米IBM Corp.IBM Research DivisionT.J. Watson Research Center SOI(silicon on insulator)技術は適用範囲がここへ来て急速に広がってきた(図4)。(1)製品面と(2)技術面の大きく二つの点で見ることができる。2000年に最初の製品が登場 (1)製品面では,最初に導入されたのが2000年に登…
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