Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ１〜露光が追い付かないメモリー 微細化の効果が薄れるロジック
日経マイクロデバイス 第224号 2004.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第224号（2004.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 4ページ （全4037字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （244kb） |
| 雑誌掲載位置 | 26〜29ページ目 |
ＬＳＩの進化を担ってきたリソグラフィ（露光）技術開発の存在意義が揺らいでいる。データ格納向けのメモリーＬＳＩでは大容量化が急速に進み，露光技術の進化がデバイスの要求に追い付かなくなってきた。データ処理向けのロジックＬＳＩでは，露光技術によって微細化を進めても，これまで通りの高速・低消費電力化は達成できなくなりつつある。露光を使わずに微細化する技術や，現行の露光技術のままで性能を高められる技術など，…
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