Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ とびら〜リソの存在意義を問う
日経マイクロデバイス 第224号 2004.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第224号（2004.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1074字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （93kb） |
| 雑誌掲載位置 | 25ページ目 |
リソグラフィ（露光）技術の存在意義が揺らいでいる。メモリーＬＳＩは高集積化のペースが速まり，露光技術の進化がデバイスの要求に追い付かなくなってきた。ロジックＬＳＩは，動作速度や消費電力を改善させる手段として，露光技術がほとんど機能しなくなっている。このため次世代のデバイス技術として，露光を使わずに高集積化させたり，露光技術を進化させずに別の手段で高性能化させたりする『リソグラフィ・インディペンデン…
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