WEB Access Ranking[製造装置・部材]〜“17℃で固化” 無色透明の不思議な液体を トーヨーアドテックが展示
日経マイクロデバイス 第223号 2004.1.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第223号(2004.1.1) |
---|---|
ページ数 | 1ページ (全343字) |
形式 | PDFファイル形式 (115kb) |
雑誌掲載位置 | 119ページ目 |
17℃という高温で固体に変わる無色透明な液状物質をトーヨーアドテックが「セミコン・ジャパン 2003」で展示した。切断加工をする際の加工対象物と基盤を固定する材料などの用途があるという。この液状物質は,エミネントサプライというベンチャが開発した。詳細は明らかにしていないが無色透明,無臭であり,一見すると水のようである。17℃以下に冷やすと固化し,17℃以上に温度を上げると再び液状になる。180℃…
記事の購入(ダウンロード)
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円(税込)
他のIDで購入する
G-Search ミッケ!は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ(全343字)」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
(注)特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
- WEB Access Ranking[Memory]〜「ISSCC2004」 景気回復を反映し論文数が過去最高を更新
- WEB Access Ranking[製造装置・部材]〜次世代露光技術の主力を 「ArF液浸」に絞ったのはなぜか? 二コンがその理由を明らかに
- WEB Access Ranking[製造装置・部材]〜2004年にPOC機,2005年に開発用装置 ニコンがArF液浸の 開発スケジュールを明かす
- WEB Access Ranking[製造装置・部材]〜「液浸技術の課題は解決済み」とキヤノン 2006〜2007年に実用化も
- WEB Access Ranking[製造装置・部材]〜オランダASML 液浸ArFのロードマップ示す