Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ 新製品ファイル〜ひずみＳｉウエーハの価格を１／２へ ＡｍｂｅｒＷａｖｅが低コスト化技術を開発
日経マイクロデバイス 第222号 2003.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第222号（2003.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1967字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （68kb） |
| 雑誌掲載位置 | 124ページ目 |
ひずみＳｉウエーハの価格を１／２にする低コスト化技術を米ＡｍｂｅｒＷａｖｅ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｃｏｒｐ．が開発した１）。２００ｍｍ口径のひずみＳｉウエーハのサンプル価格を，従来の３０００米ドル（１１０円／米ドル換算で３３万円）から１５００米ドル（１６万５０００円）にできる。２００４年の量産時には約７５０米ドル（８万２５００円）まで下げられるという（図１）。２０１０年までには，さらに一ケタ価格を下げ…
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