Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ 新製品ファイル〜ＭＲＡＭの量産狙うアニール装置 ２００ｍｍの大口径対応を可能に
日経マイクロデバイス 第222号 2003.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第222号（2003.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1555字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （43kb） |
| 雑誌掲載位置 | 120ページ目 |
アイルランドＭａｇｎｅｔｉｃ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ社は，ＭＲＡＭの量産に向けたアニール装置を日本で本格販売し始めた。ＭＲＡＭの開発で先行している米国市場や欧州などではすでに販売しており，日本でも量産に向けた開発が進むとみて，２００３年１１月までにアネルバと代理店契約を結んで営業を開始した。 ＭＲＡＭは，ここに来て量産を意識した開発段階に入った。例えば米Ｍｏｔｏｒｏｌａ， Ｉｎｃ．は２００４年中に量…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全1555字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｎｅｏ ｓｉｌｉｃｏ−ｌｉｔｈｉｃ ａｇｅ〜ベンチャが切り開く“ソリューション”
Ｉｎｔｅｒｖｉｅｗ〜“選択と集中”はあえてしない
Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ 新製品ファイル〜ニコン，主力を「ＡｒＦ液浸」へ 開発用装置の出荷目標は２００５年
Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ 新製品ファイル〜極浅接合向けアニール技術を開発 ６５ｎｍ以降の根幹にかかわる課題を克服へ
Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ 新製品ファイル〜６５ｎｍ以降のｌｏｗ−ｋ膜加工に対応した ３００ｍｍエッチング装置
