Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｌｏｇｉｃ］〜ＳｏＣ設計・製造基盤構築へ 先端ＳｏＣ共同研究センターが竣工
日経マイクロデバイス 第218号 2003.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第218号（2003.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全286字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （100kb） |
| 雑誌掲載位置 | 101ページ目 |
産業技術総合研究所は，ＮＥＣ相模原事業場の敷地内で竣工した「先端ＳｏＣ共同研究センター」の竣工記念式典を開催，９０ｍｍプロセス技術ノードと３００ｍｍウエーハを使った高付加価値ＳｏＣ（ｓｙｓｔｅｍ ｏｎ ｃｈｉｐ）の設計・製造共通基盤の構築へ本格的に動き出した。同センターは，経済産業省の平成１３年度補正予算で３１５億円を投じて建設した。約４５００ｍ２でクラス１０００のクリーン・ルームと製造設備を持…
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