Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｌｏｇｉｃ］〜ＥＰＬの開発状況は 「今年の阪神タイガース」
日経マイクロデバイス 第218号 2003.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第218号（2003.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全327字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （100kb） |
| 雑誌掲載位置 | 100ページ目 |
「ＥＰＬの開発状況は，まさに今年の阪神タイガースのようだ」。６月に開かれた「第三回ＥＰＬワークショップ」のＷｒａｐ Ｕｐ Ｄｉｓｃｕｓｓｉｏｎの座長を務めた松下電器産業半導体社の笹子勝氏は，ＥＰＬ開発の現状をこのように表現した。ＥＰＬは，露光装置，レジスト，マスクの各種装置・部材がαレベルで開発できており，マスク作成のための高速データ変換システムなどの基本技術を含めたインフラ技術が一通り整ったと…
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