インタビュー〜「パートナの協力で一気に立ち上げ」
日経マイクロデバイス　第212号　2003.2.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第212号（2003.2.1）
ページ数	2ページ　（全2419字）
形式	PDFファイル形式　（112kb）
雑誌掲載位置	10〜11ページ目

「市場は確実にある。後はきちんと製品を出荷できるかにかかっている」。２００２年９月末に発足したイービームの代表取締役社長である古川博氏は，同社の将来性に自信を深めている。同社は，低加速マスクレス電子ビーム（ＥＢ）露光装置の製造，販売を目的に，東京エレクトロン，荏原製作所，大日本スクリーン製造３社が出資する合弁会社である。発足から３カ月で国内外の１０社近いＬＳＩメーカーが関心を示しているという。少数…