技術レター［ＬＳＩ製造］〜ナノテクノロジ研究を　本格化させた米Ｉｎｔｅｌ　「ムーアの法則」を維持
日経マイクロデバイス　第208号　2002.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第208号（2002.10.1）
ページ数	1ページ　（全967字）
形式	PDFファイル形式　（63kb）
雑誌掲載位置	54ページ目

ナノテクノロジ研究・開発戦略　米Ｉｎｔｅｌ　Ｃｏｒｐ．がナノテクノロジの研究・開発を本格化させている。この分野の研究を通じて「ムーアの法則」を将来に渡って継続していく考えである。米国で開かれた開発者向け会議「Ｉｎｔｅｌ　Ｄｅｖｅｌｏｐｅｒ　Ｆｏｒｕｍ（ＩＤＦ）Ｆａｌｌ　２００２」で，同社上席副社長兼技術製造事業部長のＳｕｎｌｉｎ　Ｃｈｏｕ氏が示した。同社が言うナノテクノロジには，（１）微細加工技術…