技術レター［ＬＳＩ製造＆ＬＳＩ設計］〜「ＩＴＲＳ」の２００１年版が登場　微細化は前倒しせず　３年ペースを維持
日経マイクロデバイス　第199号　2002.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第199号（2002.1.1）
ページ数	1ページ　（全538字）
形式	PDFファイル形式　（26kb）
雑誌掲載位置	31ページ目

ロードマップ微細化研究・開発　米ＳＩＡ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｉｎｄｕｓｔｒｙ　Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）は１１月，国際半導体技術ロードマップ「Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｒｏａｄｍａｐ　ｆｏｒ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ（ＩＴＲＳ）」の２００１年版を正式に発表した。見かけ上，技術の区切りとなる時期とテクノロジ・ノードは変わったが，実質的には３年ごとに寸法を７０％に縮小…