特集　Ｐａｒｔ２（寄稿）〜新原理とネットワークで　「見えない欠陥」を捕捉
日経マイクロデバイス　第184号　2000.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第184号（2000.10.1）
ページ数	8ページ　（全8548字）
形式	PDFファイル形式　（438kb）
雑誌掲載位置	94〜101ページ目

検査・分析　パーティクル　ＬＳＩ設計今後の検査装置は「見えない欠陥」を見つける方向に進化する。新原理を使った個々の検査装置の機能強化とネットワーク化が，この進化を支える。「見えない欠陥」とは微細なパーティクルやホール底の残膜，配線内部のボイドなどである。０．１８μｍ以降は新材料や新プロセスの導入が相次いだことから，これらが歩留まりを劣化させる要因として顕在化した。こうした状況では，製造装置のプロセ…