技術レター［ＬＣＤ（ディスプレイ）］〜消費電力の一ケタ低減に　向けて最大の課題が解決　強誘電体薄膜を低温形成
日経マイクロデバイス　第181号　2000.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第181号（2000.7.1）
ページ数	1ページ　（全240字）
形式	PDFファイル形式　（23kb）
雑誌掲載位置	64ページ目

低消費電力研究・開発ＴＦＴ　液晶パネルの消費電力を一ケタ低減するメモリー機能の実現に向け，最大の技術課題が解決した。メモリー機能に必要な強誘電体薄膜の低温形成に東芝とメルク・ジャパンのグループが成功した。強誘電体薄膜は液晶にかかる電圧を保持するためのキャパシタとして働く。ガラス基板が使える６００℃以下の温度で成膜した強誘電体薄膜は，電圧保持に必要なヒステリシス特性が得られなかった。今回成膜装置を新…