ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ ＬＳＩ（メモリー）〜キヤノンが「ＩＤＥＡＬ」搭載の 露光装置の製品化計画を 明らかに
日経マイクロデバイス 第168号 1999.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第168号（1999.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全292字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （38kb） |
| 雑誌掲載位置 | 153ページ目 |
微細化露光技術製造装置 キヤノンは，同社が開発した解像度を２倍に向上できる新技術「ＩＤＥＡＬ」（本誌１９９９年５月号，ｐｐ．１０２−１０３に関連記事）を採用した露光装置の製品化計画を明らかにした。従来の露光装置に変更を加えずにＩＤＥＡＬ技術を導入すると，スループットが大幅に低下する問題が起きる。この問題を抑えた露光装置「ＰＦＡ−３０００ＥＸ６」を１９９９年内に発売する。ソフトウェアをＩＤＥＡＬ対応…
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