Ｈｏｔ Ｎｅｗｓ〜ニコンが先端パッケージ向け露光装置 マスクレスで大型パネルに対応
日経エレクトロニクス 第1269号 2024.11.1
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1269号（2024.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 3ページ （全3046字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （879kb） |
| 雑誌掲載位置 | 14〜16ページ目 |
ニコンが主力の半導体露光装置で、人工知能（ＡＩ）向けで需要が拡大する後工程への参入を急いでいる。回路の原版となるフォトマスクが不要な露光装置を後工程向けに開発中で、数年以内の発売を目指す。フラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）露光装置の技術を生かし、パネルレベルパッケージと呼ばれる大型ガラス基板を用いた後工程に対応することでファウンドリーなどへの提案力を高める。 開発を進めているのは同社が「デジタル…
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