Breakthrough 特集1 半導体、「後ろ」が最前線〜「裏面電源供給」でさらなる微細化 鍵はウエハーの貼り合わせ
日経エレクトロニクス 第1267号 2024.9.1
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1267号(2024.9.1) |
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ページ数 | 4ページ (全3418字) |
形式 | PDFファイル形式 (1022kb) |
雑誌掲載位置 | 54〜57ページ目 |
BSPDN半導体微細化による新たな課題を解消する技術、「裏面電源供給(BSPDN)」。韓国Samsung Electronics(サムスン電子)が採用時期を決め、最先端半導体を量産する大手3社の実用化ロードマップが出そろった。先陣を切るのは2024年内の実用化を見据える米Intel(インテル)だ。実現に向けては、ウエハー同士の接合技術が鍵となる。「裏面電源供給は、プロセス技術が複雑で、製造コストも…
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